陶瓷通孔TCV金属化加工

产品介绍:

陶瓷穿孔互连技术 (TCV,Through r通彻:连 Via)简称TCV,是一种应用于高密度三维封装的 l 新型互连技术。采用传统沉铜电镀的陶瓷基板孔金属化方案,容易出现孔内残液、附着力不佳、填铜不饱满等诸多工艺难点。采用铜浆塞孔的技术实现陶瓷基的孔金属化,工艺制程简单、填塞饱满、附着力好、成本极低。

百柔采用微纳米复合铜浆烧结而成,电阻率和可靠性俱佳。通过添加高温粘结剂和特种填料,可以进一步调整孔铜和界面的热膨胀系数,实现高可靠性的孔铜。

 

工艺流程:

陶瓷通孔TCV金属化加工

工艺特点:

•   深径比范围宽,浆料流动性好,孔壁附着完整;

•   干法制程,避免化铜带来的药水残留;

•   制程效率高,只印刷就可完全填塞所有孔;

•   可靠性高,热膨胀系数可调;

•   真空塞孔工艺效率高、质量好、成本低;

•   电阻率接近纯铜实现大电流的有效导通;

•   低热膨胀系数的孔铜和界面层实现高可靠性   ;  

工艺优势:

•   介电系数较小,高频特性好,可以降低信号延迟时间;

•   热膨胀系数更接近硅,无机基板材料热膨胀系数普遍低于有机基板材料;

•   耐热性能强,无机基板材料玻璃化温度普遍高于有机基板材料,在热冲击和热循环过程中不易损伤; 

•   热导率高,可以将高集成度封装产生的热量及时排出;

•   机械强度高,有良好的尺寸稳定性,使元器件安装精度高;

•   化学稳定性强,在加工过程中能耐酸、碱、有机溶剂的浸蚀,不产生变色、溶胀等特性变化;

•   绝缘性能好,可靠性高。

加工能力:

基材

氧化铝

氮化铝

热膨胀系数

6.8 ppm/K

4.7 ppm/K

导热系数

 w/m·k

170 w/m·k

尺寸

<182X182mm

<12320X120mm

厚度

0.25∽1mm

0.15mm∽0.63mm

孔径

>60μm

>60μm

深径比

<10:1

<10:1

孔边距

>0.1mm

>0.1mm

 应用场景:

·    大功率电力电子模块,太阳能电池板组件等;

·    高频开关电源、固态继电器;

·    汽车电子、激光、CMOS图像传感器;

·    大功率LED照明产品;

·    通信天线,汽车点火器;

加工效果:

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